Gas-Massenstrom-Sensor des AWM42300V-Wärmeübertragungs-Prinzip-±1000SCCM Microbridge

Produkt-Beschreibung:

Gas-Massenstrom-Sensor des AWM42300V-Wärmeübertragungs-Prinzip-±1000SCCM Microbridge

Eigenschaften:

Reihe AWM40000 Gas-Massenstrom-Sensor, unamplified (Millivolt), Fluss-/Druckstrecke: ±1000 SCCM (1,0 SLPM); Schnittstellenart: Vielfältigkeit.

Operation

Das Prinzip des microbridge Gasmassenstrom-Sensors ist Wärmeübertragung. Der Massenstrom des Gases wird über die Oberfläche des Fühlers geführt. Die Ausgangsspannung ist zur Masse der Luft oder zu anderem Gas, das den Einlass und den Ausgang des Pakets durchfließt proportional. Eine besonders entworfene Wohnung optimal verweist und steuert Luftstrom durch die microstructured Fühler. Das Paket ist mechanisch entworfen, an einer Leiterplatte leicht angebracht zu werden.

Der microbridge Gasmassenstrom-Sensor enthält einen modernen Silizium-Chip, der auf moderner Mikrostrukturtechnologie basiert. Der Chip benutzt einen Dünnfilm und adiabatische eine Brückenstruktur mit einer Heizung und einem Temperaturfühler. Die Brückenstruktur kann schnell und empfindlich reagieren für den Luftstrom der Luft oder andere Gase, die den Chip durchfließen. Doppelfühler auf beiden Seiten des Zentralheizungselements zeigen auch die Richtung und die Abflussmenge an. Der Laser-korrigierte Dickfilm und der Schichtwiderstand konsequente Austauschbarkeit von Sensor jederzeit sicherstellen zu Sensor.

Microbridge-Gasmassenstrom-Sensoren verwenden die thermischen Widerstände, die in den Silikonnitridfilmen eingewickelt werden. Diese Widerstände werden verschoben und bilden zwei Brücken über dem Ätzungshohlraum des Silizium-Chips. Der Chip wird in einen *** Größen-Luftstromkanal gelegt, um wiederholbare Flussantwort zur Verfügung zu stellen. Indem sie den Hohlraum unter dem Fluss ätzt, der Brücke abfragt, kann die Heizung und Widerstand abfragt, leistungsfähige thermische Isolierung erzielen, der. Die kleine und thermische Isolierungsfunktion des microbridge Gasmassenstrom-Sensors die Höchstgeschwindigkeitsantwort und die hohe Empfindlichkeit zum Luftstrom erzielen.

Wheatstone-Zwillings-Brücken steuern Luftstrommaß - man liefert Regelheizungssteuerung und das andere enthält Doppelfühler. Der Heizungsstromkreis verringert die Ertragveränderung, die durch umgebende Temperaturwechsel verursacht wird, indem er einen Ertrag zur Verfügung stellt, der zum Massenstrom proportional ist. Dieser Stromkreis behält die Temperatur der Heizung an einer konstanten Temperaturdifferenz über der umgebenden Temperatur bei (°C) 160, das durch das Maß des thermischen Widerstands auf dem Chip bestimmt wird. Der Ertrag des Gerätes ist zur Versorgungsspannung proportional und entspricht auch der Differenzspannung der Wheatstone-Brückenschaltung.

Spezifikationen: