Produktdetails:
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/Fließen Druckstrecke: | sccm ±1000 (1 SLPM) | Null über der ganzen Temperaturspanne: | ±0.20 Millivolt DC |
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Wiederholbarkeit: | ±0.50% Lesung | Antwortzeit: | Typische Frau des Wertes 1 |
Hervorheben: | Mikrobrücken-Gas-Massenstrom-Meter,AWM42300V-Gas-Massenstrom-Meter,Mikrobrücken-thermischer Massenstrom-Sensor |
±1000sccm-Mikrobrücken-Gas-Massenstrom-Meter-Sensor AWM42300V
±1000sccm-Mikro-Brücke Gas-Massenstrom-Sensor AWM42300V
Eigenschaften:
Der Microbridge-Gasmassenstrom-Sensor verwendet thermischen Widerstand eingewickelt in einem Dünnfilm des Silikonnitrids. Diese Widerstände werden verschoben und zwei Brücken über dem Ätzungshohlraum der Siliziumscheibe bilden. Der Chip wird in den besten Spezifikationsluftstromkanal gelegt, um wiederholbare Flussantwort zur Verfügung zu stellen. Indem sie den Hohlraum unter dem Fluss ätzt, der Brücke abfragt, erzielen die Heizung und Widerstand abfragt, leistungsfähige thermische Isolierung, der. Die kleine und thermische Isolierungsfunktion des Mikrobrückengasmassenstrom-Sensors schnelle Antwort und hohe Empfindlichkeit zum Luftstrom erzielen.
Wheatstone-Doppel-brückensteuerluftstrommaß - man liefert Regelheizungssteuerung, das andere enthält Doppelfühler. Der Heizungsstromkreis verringert die Ertragveränderung wegen der umgebenden Temperaturänderung, indem er einen Ertrag zur Verfügung stellt, der zum Massenstrom proportional ist. Dieser Stromkreis behält die Temperatur der Heizung an einer konstanten Temperaturdifferenz über der umgebenden Temperatur bei (°C) 160, das durch den thermischen Widerstand auf dem Chip gemessen wird. Der Ertrag des Gerätes ist zur Versorgungsspannung proportional und entspricht auch der Differenzspannung der Wheatstone-Brückenschaltung.
Spezifikationen:
Schnittstellenart | Vielfältigkeit |
Leistungsaufnahme | 60 mW |
Mittlere Kompatibilität | Nur trockenes Gas |
AusgleichsTemperaturspanne | -25°C zu 85°C [- 13°F zu 185°F] |
Ansprechpartner: Xu
Telefon: 86+13352990255