AGP4000 MEMS Hochpräzisions-Digitalanzeige Kaltkathoden-Verbundvakuummeter Pirani-Vakuummeter

AGP4000 MEMS Hochpräzisions-Digitalbildschirm Kaltkathoden-Verbundvakuummessgerät Pirani Vakuummessgerät

Verwendungszwecke:

• Halbleiterherstellung: Es wird zur präzisen Überwachung der Vakuumumumgebung in Halbleiterherstellungsprozessen wie Halbleiterbeschichtung verwendet.Eine genaue Steuerung des Vakuumgrades ist entscheidend für die Qualität und Leistung von Halbleiterprodukten, und AGP4000 können zuverlässige Vakuumdaten zur Gewährleistung der Stabilität des Prozesses liefern.
• Luft- und Raumfahrt: Bei Tests von Luftfahrtkomponenten und anderen Szenarien ist es notwendig, verschiedene Vakuumumumgebungen zu simulieren, um die Leistung von Komponenten zu testen.AGP4000 kann eine vollständige Überwachung von niedrigem Vakuum bis hohem Vakuum realisieren, die wichtige Datenunterstützung für die Luft- und Raumfahrtforschung und -entwicklung sowie die Erprobung bieten.
• Präzisionswissenschaftliche Forschung: In der Präzisionswissenschaftlichen Forschung, z. B. bei einigen physikalischen und chemischen Experimenten, die eine hochdruckende Kontrolle der Vakuumumgebung erfordern,AGP4000 kann Forschern helfen, genaue Informationen über den Vakuumgrad zu erhalten, um die Genauigkeit und Wiederholbarkeit der Versuchsergebnisse zu gewährleisten.
• Für Vakuumöfen sind in verschiedenen Prozessstufen verschiedene Vakuumgrade erforderlich. AGP4000 kann den Vakuumgrad im Ofen in Echtzeit überwachen,und mit dem Steuerungssystem zusammenarbeiten, um den Vakuumgrad anzupassen, um die Wärmebehandlung der Materialien und die Lebensdauer des Ofen zu gewährleisten.

Eigenschaften:

• Breite Reichweite und hochaugenaue Messung: Er kann eine vollständige, präzise Überwachung von niedrigem Vakuum bis hohem Vakuum (1×10−6Pa ~ 1×105Pa) erreichen, die einen breiten Bereich von 6 Größenordnungen abdeckt.mit einem Wiederholungsfehler von ≤ ± 5%, und eine ausgezeichnete langfristige Stabilität, die eine zuverlässige Datenbasis für Schlüsselprozesse bietet.
• Dual-Technologie Intelligente Zusammenarbeit: Das Pirani-System arbeitet während des gesamten Prozesses, und wenn der Vakuumgrad < 10 Pa ist,Das Kaltkathodensystem wird automatisch ohne manuelles Eingreifen gestartet., was das Problem der Reichweitenbeschränkung traditioneller Geräte vollständig löst.
• Stärke und Langlebigkeit: Die kalte Kathode erfordert keine Heizung, was eine starke Antiverschmutzungsfähigkeit besitzt, die Lebensdauer erheblich verlängert und die Wartungskosten senkt.
• Echte Farbvisualisierung: Es ist mit einem hochauflösenden TFT - LCD Farbbildschirm ausgestattet, der den Druckwert in Echtzeit dynamisch anzeigen kann,und kann mit einer Taste zwischen drei Einheiten (Pa/Torr/mbar) wechseln, sowie Temperatur, Kommunikationsstatus und Hochspannungseinstellungen (rot/blau zweifarbige Warnung), so daß die Daten auf einen Blick klar sind.
• Dual-Mode-Ausgang: Es verfügt über ein lineares Analogsignal von 0~10 V, das direkt mit industriellen Geräten wie SPS und Aufzeichnern verbunden werden kann und logarithmische Umrechnungsformeln unterstützt,die Anpassung an das System erleichternGleichzeitig verfügt es über ein Standard-Modbus-RTU-Protokoll, das RS485-Kommunikation über die RJ45-Schnittstelle realisiert, Multi-Device-Netzwerkung unterstützt,und mit gängigen industriellen Steuerungssystemen kompatibel ist, die den Aufbau eines intelligenten Vakuumüberwachungsnetzes unterstützt.
• Einfache Installation und zuverlässige Bedienung: Es ist standardmäßig mit einem elektrisch polierten Flansch aus Edelstahl KF25 ausgestattet.die eine ausgezeichnete Luftdichte aufweist und die Anbringung in jeder Richtung unterstützt (vertikal empfohlen)Es verfügt über eine breitspannungsfähige Stromversorgung (15~30 V Gleichspannung) und einen Stromverbrauch von ≤ 6 W, der sich an raue industrielle Umgebungen anpassen kann.
• Intelligente Kalibrierung und bequeme Bedienung: Es verfügt über ein dreistufiges Menü-basiertes Schnittstellendesign, unterstützt das Schalten von Chinesisch und Englisch, kann Kommunikationsparameter und -einheiten vor Ort festlegen,Ausführen 0.1Pa/Atmosphärendruck kalibrieren und sogar die Werkseinstellungen mit einer Taste wiederherstellen, wodurch die Betriebs- und Wartungsschwelle erheblich verringert wird.