AGP4000 MEMS Hochpräzisions-Digitalanzeige Kaltkathoden-Verbundvakuummeter Pirani-Vakuummeter

                    AGP4000 MEMS Hochpräzise Digitalanzeige Kaltkathoden-Verbundvakuummeter Pirani-Vakuummeter

Verwendungen:

• Halbleiterherstellung: Es wird zur präzisen Überwachung der Vakuumumgebung in Halbleiterherstellungsverfahren wie der Halbleiterbeschichtung verwendet. Eine genaue Vakuumgradkontrolle ist entscheidend für die Qualität und Leistung von Halbleiterprodukten, und AGP4000 kann zuverlässige Vakuumdaten liefern, um die Stabilität des Prozesses zu gewährleisten.
• Luft- und Raumfahrtbereich: Bei der Prüfung von Luft- und Raumfahrtkomponenten und anderen Szenarien ist es notwendig, verschiedene Vakuumumgebungen zu simulieren, um die Leistung der Komponenten zu testen. AGP4000 kann eine vollständige Überwachung von Niedrigvakuum bis Hochvakuum realisieren und wichtige Datenunterstützung für Forschung und Entwicklung sowie Tests in der Luft- und Raumfahrt bieten.
• Präzisionswissenschaftliche Forschung: In der präzisionswissenschaftlichen Forschung, wie z. B. bei einigen physikalischen und chemischen Experimenten, die eine hochpräzise Vakuumumgebungskontrolle erfordern, kann AGP4000 Forschern helfen, Vakuumgradinformationen genau zu erhalten und so die Genauigkeit und Wiederholbarkeit der experimentellen Ergebnisse sicherzustellen.
• Vakuumofenanwendungen: Für Vakuumöfen sind in verschiedenen Prozessstadien unterschiedliche Vakuumgrade erforderlich. AGP4000 kann den Vakuumgrad im Ofen in Echtzeit überwachen und mit dem Steuerungssystem zusammenarbeiten, um den Vakuumgrad anzupassen, um die Wärmebehandlungsqualität der Materialien und die Lebensdauer des Ofens zu gewährleisten.

Merkmale:

• Weitbereichs- und Hochpräzisionsmessung: Es kann eine präzise Überwachung im gesamten Bereich von Niedrigvakuum bis Hochvakuum (1×10⁻⁶Pa ~ 1×10⁵Pa) erreichen, einen weiten Bereich von 6 Größenordnungen abdecken, mit einem Wiederholfehler von ≤±5% und ausgezeichneter Langzeitstabilität, was eine zuverlässige Datengrundlage für Schlüsselprozesse bietet.
• Intelligente Zusammenarbeit mit Dual-Technologie: Das Pirani-System arbeitet während des gesamten Prozesses, und wenn der Vakuumgrad < 10 Pa beträgt, wird das Kaltkathodensystem automatisch ohne manuelles Eingreifen gestartet, was den Engpass der Bereichsbegrenzung herkömmlicher Geräte vollständig behebt.
• Stark und langlebig: Das Kaltkathodendesign benötigt keinen Heizfaden, was eine hohe Verschmutzungsresistenz aufweist, die Lebensdauer erheblich verlängert und die Wartungskosten senkt.
• Echtfarb-Visualisierung: Es ist mit einem hochauflösenden TFT-LCD-Farbbildschirm ausgestattet, der den Druckwert in Echtzeit dynamisch anzeigen kann und mit einem Tastendruck zwischen drei Einheiten (Pa/Torr/mbar) umschalten kann und auch Temperatur, Kommunikationsstatus und Hochspannungs-Ein-Aus-Markierungen (rot/blau Zweifarbwarnung) anzeigt, so dass die Daten auf einen Blick klar sind.
• Dual-Mode-Ausgang: Es verfügt über ein lineares 0~10V-Analogsignal, das direkt an industrielle Geräte wie SPS und Rekorder angeschlossen werden kann, und unterstützt logarithmische Umrechnungsformeln, wodurch es sich leicht an das System anpassen lässt. Gleichzeitig verfügt es über ein Standard-Modbus-RTU-Protokoll, das die RS485-Kommunikation über die RJ45-Schnittstelle realisiert, Multi-Geräte-Vernetzung unterstützt und mit gängigen industriellen Steuerungssystemen kompatibel ist, was beim Aufbau eines intelligenten Vakuumüberwachungsnetzwerks hilft.
• Einfache Installation und zuverlässiger Betrieb: Es ist standardmäßig mit einem KF25-Edelstahl-elektropolierten Flansch ausgestattet, der eine ausgezeichnete Luftdichtheit aufweist und die Installation in jeder Richtung unterstützt (vertikale Installation wird empfohlen). Es verfügt über eine Weitbereichs-Stromversorgung (15~30V DC) und eine Leistungsaufnahme von ≤6W, die sich an raue Industrieumgebungen anpassen kann.
• Intelligente Kalibrierung und bequeme Bedienung: Es verfügt über ein dreistufiges menübasiertes Schnittstellendesign, unterstützt das Umschalten zwischen Chinesisch und Englisch, kann Kommunikationsparameter und Einheiten vor Ort einstellen, eine 0,1 Pa/Atmosphärendruck-Kalibrierung durchführen und sogar die Werkseinstellungen mit einem Tastendruck wiederherstellen, was die Betriebs- und Wartungsschwelle erheblich senkt.