YJJ AGP4000H00 MEMS Hochpräzisions-Digital-Kaltkathoden-Kompositionsvakuummessgerät Pirani Vakuummessgerät

Produktbeschreibung:

YJJ AGP4000H00 MEMS Hochpräzises digitales Kaltkathoden-Verbundvakuummessgerät, Pirani-Vakuummessgerät

Merkmale:

I. Produkteinführung

Modell: AGP4000H00, Vollbereichs-Vakuummessgerät aus Verbundwerkstoff, integriertes Pirani-Wärmeleitfähigkeitsmessgerät (Messung von atmosphärischem bis mittlerem Vakuum) + Kaltkathoden-Ionisationsmessgerät (Messung von Hochvakuum)

Automatische Dual-Mode-Umschaltung, keine Kopplung mit zwei unabhängigen Vakuummessgeräten erforderlich. Integrierte Vakuummesssonde aus Edelstahl, ausgestattet mit lokalem TFT-Farbdisplay. Unterstützt auch analoge/digitale Signalverbindungen zu SPS, Touchscreen und industriellem Steuerungshost.

Unterscheidungsmerkmal: Der Prophiles AGP4000-Touchscreen ähnelt diesem Vakuummeter-Modell, es handelt sich jedoch um ein völlig anderes Produkt. Kauf und Anschluss von Hardware dürfen nicht verwechselt werden.

II. Kernleistungsparameter

1. Vakuummessbereich (Dual Gauge Composite)

Gesamtmessbereich: 5×10⁻⁶ Pa ～ 1×10⁵ Pa (über 6 Größenordnungen, deckt grobes Pumpen, mittleres Vakuum und Hochvakuum während des gesamten Prozesses ab)

Pirani-Arbeitsbereich: 1×10⁵ Pa ～ 10 Pa (während des gesamten Prozesses immer eingeschaltet, Überwachung von atmosphärischem bis mittlerem Vakuum)

Automatischer Kaltkathoden-Startschwellenwert: <10 Pa, startet automatisch die Ionisationsmessung für Hochvakuum unterhalb dieses Vakuumniveaus, kein manuelles Umschalten erforderlich

Maßeinheiten: Pa / mbar / Torr, drei Einheiten können gleichzeitig umgeschaltet werden, mit chinesischen und englischen Schnittstellen

2. Genauigkeit und Stabilität

Wiederholbarkeitsfehler: ≤±5 % des Messwerts

Messgenauigkeit: ±30 % des Skalenendwerts

Reaktionsgeschwindigkeit: Pirani-Reaktion im Millisekundenbereich; Kaltkathode, schneller und stabiler Start bei hoher Spannung

Eigenschaften zur Vermeidung von Umweltverschmutzung: Die Kaltkathode hat keinen erhitzten Wolframfaden, wird nicht durch Öldampf oder Beschichtungsstaub verbrannt und hat eine viel längere Lebensdauer als das Ionisationsmessgerät mit thermischer Kathode

3. Spezifikationen der Stromversorgung

Stromversorgungsspannung: DC 15–30 V Weitbereichs-Gleichstrom

Gesamtstromverbrauch: ≤6W

Integrierte Schnittstelle für Kommunikation/Stromversorgung: Integriertes RJ45-Netzteil + RS485

Digitale Kommunikation: Modbus RTU, Baudrate 4800/9600/19200/115200 einstellbar, unterstützt die Vernetzung mehrerer Geräte (Adresse 1~255)

Analoger Ausgang: 0~10 V logarithmischer Spannungsausgang, kann direkt an Rekorder und SPS-Analogmodule angeschlossen werden

Schaltmenge: 2 programmierbare Alarmrelais, können einen Hoch-/Niedrigvakuumschwellenwert einstellen, um Pumpen, Ventile und Alarmleuchten zu verbinden

4. Mechanik, Umwelt, Materialien

Vakuumflansch: Standard-KF25-Schnellverschlussflansch, hervorragende Luftdichtheit, unterstützt jede Winkelinstallation

Material des Hohlraumkontakts: elektropolierter Edelstahl 304/316, geeignet für ölfreies Vakuum und leicht ölgeschmierte Vakuumsysteme

Betriebstemperaturbereich: 5℃~55℃

Lagertemperaturbereich: -20℃~70℃

Schutz: Metallabdichtung der gesamten Maschine, Sonde beständig gegen Staub und leichte Ölverschmutzung

Bildschirm: Micro-TFT-Farbdisplay, Echtzeitanzeige des Vakuumwerts, der Innentemperatur, des Kommunikationsstatus, zweifarbige Warnleuchten für hohes/niedriges Vakuum

III. Funktionsprinzip

Pirani-Messgerät (Wärmeleitungsprinzip)

Interner MEMS-Heizwiderstandsdraht, Gasmoleküle absorbieren Wärme, je höher der Druck, desto schneller die Wärmeableitung, desto niedriger die Widerstandstemperatur; Der Kreislauf erfasst Widerstandsänderungen und wandelt das atmosphärische Vakuum in ein 10-Pa-Vakuumniveau um, wobei er während des gesamten Prozesses kontinuierlich arbeitet.

Kaltkathoden-Ionisationsmessgerät (Panning-Entladung)

Wenn das Vakuum unter 10 Pa liegt, wird automatisch Hochspannung geladen, die Gasionisierung erzeugt einen Ionenstrom; Je höher das Vakuum, desto kleiner der Ionenstrom, wodurch der Hochvakuumbereich von 10 Pa bis 10⁻⁶Pa gemessen wird.

Die integrierte MCU bestimmt automatisch den Druckbereich, schaltet nahtlos zwischen zwei Messmodi um, gibt den Vakuumwert gleichmäßig aus, ohne dass Back-End-Geräte für die Bereichsumschaltung erforderlich sind.

IV. Kernvorteile

Ein einzelnes Messgerät deckt den gesamten Vakuumbereich ab und ersetzt die herkömmliche Doppelsondenlösung „Pirani-Messgerät + Ionisationsmessgerät“, wodurch Gerätekosten und Installationsraum reduziert werden. Kaltkathode ohne Glühfaden, keine Angst vor atmosphärischen Einflüssen oder Beschichtungsverschmutzung, wartungsarm, geeignet für die kontinuierliche 24-Stunden-Industrieproduktion;

Es verfügt über einen lokalen Farbbildschirm, der das Ablesen der Vakuumwerte vor Ort ohne einen oberen Computer ermöglicht und so die Fehlersuche und Wartung vereinfacht.

Es verfügt außerdem über 0-10-V-Analog- und Modbus-Digital-Doppelausgänge, die mit Proflex-Touchscreens, verschiedenen SPSen und industriellen Steuerungserfassungssystemen kompatibel sind.

Breiter Spannungsbereich von 15 bis 30 V DC, kompatibel mit Geräteschränken für die Gleichstromversorgung, hohe Kompatibilität in Industriestandorten;

Der universelle Standardflansch KF25 kann direkt mit Molekularpumpen, mechanischen Pumpen und Standardrohrleitungen von Vakuumkammern kombiniert werden.

VII. Hauptanwendungsszenarien

1. Halbleiter, Vakuumbeschichtungsanlagen (Kernanwendung)

Magnetronsputtern, Verdampfungsmaschinen, optische Beschichtung, ITO-Leitfilmausrüstung

Waferverpackung, Plasmareinigung, Ätzgeräte, Überwachung des gesamten Prozesses vom Grobpumpen → Hochvakuum-Prozesskurve

Vakuum-Hohlraum-Leckerkennung, kombiniert mit Helium-Leckerkennungsgeräten zur Bestimmung der Leckstelle

2. Forschungslaborausrüstung

Anaerobe Zellinkubatoren, Vakuumtrockenschränke, Heißpress-Sinteröfen

Klimasimulationskammern, Luftdichtheitsprüfstände, Geräte zur Vakuumalterungsprüfung von Materialien

Forschungshochvakuum-Versuchskammern, Vakuumüberwachung von Ionenquellen

3. Lithiumbatterie, neue Energieherstellungsausrüstung

Lithiumbatterie-Vakuumbacken, Injektionsvakuumkammer, Leckerkennungsstation für Zellluftdichtheit

Verdampfungssystem zur Elektrolytentschäumung, Elektroden-Vakuumbeschichtungsanlage

4. Luft- und Raumfahrt, Präzisionsprüfindustrie

Hoch- und Niedertemperatur-Vakuumtestkammern für Luft- und Raumfahrtkomponenten, Simulationsgeräte für die Raumfahrtumgebung von Raumfahrzeugen

Präzisionsinstrumente, Vakuumkalibrierstationen für Sensoren

5. Medizinische unterstützende Vakuumausrüstung

Medizinische Unterdruckkammern, sterile Vakuumsterilisationsgeräte, Gefriertrocknungsmaschinen für biologische Proben

Begleitende Beatmungsgeräte, Vakuum-Druckgestängesteuerung (kombinierbar mit ExplorIR-M-5 CO₂-Sensorgestänge)

6. Allgemeine industrielle Vakuumautomatisierung

Vakuum-Unterdruck-Adsorptionsgeräte, Vakuumverpackungsmaschinen, Steuerung der Vakuumpumpengruppe, automatischer Start-Stopp bei Vakuumüberschreitung mechanischer Pumpen, Molekularpumpen, Absperrventile.

VI. Unterstützende Schnittstellenlösungen (kompatibel mit Ihren vorhandenen Materialien)

Oberes Display: AGP4000 Proflex-Touchscreen, Vakuumwerte über Modbus RJ45 lesen, Kurve, Alarm und automatische Prozesslogik ausführen;

Gasverknüpfung: gepaart mit dem CO₂-Sensor ExplorIR-M-5 und dem Geruchssensor ZP152 ermöglicht eine integrierte Überwachung des Vakuums in der Kammer + der Gaskonzentration;

Medizinische Komplettmaschine: kombiniert mit dem Blutsauerstoffsonden-Überwachungshost DS100A, verwendet für medizinische Vakuum- und Lebenszeichen-integrierte Geräte.

Spezifikationen: