AWM42300V Mikrobridge Gasmassenluftstromsensor für Trockengas-Analog-Ausgang

Beschreibung des Produkts:

AWM42300V Mikrobridge Gasmassenluftstromsensor für Trockengas-Analog-Ausgang

Eigenschaften:

Gassmassenstromsensor der AWM40000-Serie, nicht verstärkt (mV), Durchfluss-/Druckbereich: ±1000 SCCM (1,0 SLPM);Schnittstellentyp: Vielfalt.

Betrieb

Das Prinzip des Gasmassenflusssensors der Mikrobrücke ist die Wärmeübertragung.Die Massenströmungsrate des Gases wird über die Oberfläche des Sensorelements geleitet.Die Ausgangsspannung ist proportional zur Masse der Luft oder anderer Gase, die durch den Ein- und Ausgang des Pakets fließen.Ein speziell konstruiertes Gehäuse leitet und steuert den Luftstrom durch die mikrostrukturierten Sensoren optimal.Die Verpackung ist mechanisch so konstruiert, dass sie leicht auf einer Leiterplatte montiert werden kann.

Der Gasmassenflusssensor der Mikrobrücke enthält einen fortschrittlichen Siliziumchip, der auf fortschrittlicher Mikrostrukturtechnologie basiert.Der Chip verwendet eine dünne Folie und eine adiabatische Brückenstruktur mit einem Heiz- und Temperatursensor.Die Brückenstruktur kann schnell und empfindlich auf den Luftstrom von Luft oder anderen Gasen reagieren, die durch den Chip fließen.Zwei Sensoren auf beiden Seiten des Zentralheizkörpers geben auch die Strömungsrichtung und -rate an.Die laserkorrigierte Dicke und der Filmwiderstand gewährleisten eine gleichbleibende Austauschbarkeit von Sensor zu Sensor.

Mikrobridge-Gasmassenflusssensoren verwenden thermische Widerstände, die in Siliciumnitridfolien eingewickelt sind.Diese Widerstände sind aufgehängt und bilden zwei Brücken über der Ätzungshöhle des Siliziumchips.Der Chip wird in einen Luftstromkanal in der Größe von *** platziert, um eine wiederholbare Flussreaktion zu gewährleisten.Durch das Ätzen des Hohlraums unter der Strömungsmessbrücke können die Heizung und der Messwiderstand eine effiziente Wärmedämmung erreichen.Die geringe Größe und die thermische Isolationsfunktion des Gasmassenflusssensors für die Mikrobrücke ermöglichen eine maximale Geschwindigkeitsreaktion und eine hohe Empfindlichkeit für den Luftstrom.

Wheatstone Twin Bridges steuern die Messung des Luftstroms - eine bietet eine geschlossene Heizungskontrolle und die andere enthält doppelte Sensoren.Der Heizkreislauf verringert die durch Umgebungstemperaturänderungen verursachte Ausgangsvariation, indem er eine Ausgangsleistung liefert, die proportional zur Massendurchflussrate ist.Dieser Schaltkreis hält die Temperatur der Heizung bei einer konstanten Temperaturdifferenz über der Umgebungstemperatur (160°C), die durch die Wärmewiderstandsmessung auf dem Chip bestimmt wird.Die Leistung des Geräts ist proportional zur Versorgungsspannung und entspricht auch der Differenzspannung des Wheatstone-Brückenkreislaufs.

Spezifikationen: