YJJ AS200 Edelstahl MFC Hochpräziser Gas-Massenstromregler Luft Mikro-Gas-Durchflussmesser

Produktbeschreibung:

YJJ AS200 Edelstahl MFC Hochpräzisions-Gas-Massenstromregler Luft-Mikro-Gas-Durchflussmesser

Eigenschaften:

AS200 Serie Gas-Massenstromregler

Bietet leistungsstarke, kostenlose clientbasierte Oberrechner-Software

Der Gas-Massenstromregler der AS200-Serie eignet sich für verschiedene konventionelle Gase und verbessert die Genauigkeit und Zuverlässigkeit der Messergebnisse der Gas-Massenstromregelung. Die Wiederholgenauigkeit beträgt bis zu 0,2 % F.S.;

Die geringe Leckrate von 1x10-0 Pa·m3/sec He, gute Luftdichtheit, gewährleistet die Produktionssicherheit; Er kann mehrere Signalausgänge unterstützen, einschließlich digitaler Signale, 1-5V-Analogsignale und 4-20mA-Analogsignale, die eine einzelne Stromversorgung (+15~+28VDC) verwenden können, geeignet für verschiedene Arbeitsszenarien; Das standardmäßige offene Kommunikationsprotokoll bietet Kunden Komfort bei der unabhängigen Entwicklung von Steuerungs- und Erfassungssoftware; Gleichzeitig bietet das Produkt auch eine leistungsstarke, kostenlose clientbasierte Oberrechner-Software, die die Benutzerfehlersuche und -bedienung erleichtert.

Die Produkte der AS200-Serie werden von Aosong Electronics unter Verwendung fortschrittlicher MEMS-Technologie entwickelt. In vielerlei Hinsicht, wie z. B. Sensorantrieb, Nullpunktdriftkontrolle und Ventilsteuerung, wurden Kerntechnologien eingesetzt, um die hohe Leistung, hohe Qualität und hohe Zuverlässigkeit der Produkte zu gewährleisten. Es ist ein hochwertiges Instrument mit guter Stabilität, hoher Präzision, geringer Leckrate und hohem Druckwiderstand.

Der Gas-Massenstromregler (MFC) der AS200-Serie wird hauptsächlich zur präzisen Steuerung und Messung des Gas-Massenstroms verwendet. AS200 spielt eine wichtige Rolle in der Forschung und Produktion in verschiedenen Bereichen wie Halbleiter-Schaltungstechnik, Sondermaterialien, chemische Industrie, Erdölindustrie, Medizin, Umweltschutz und Vakuum. Zu den typischen Anwendungsszenarien gehören: integrierte Schaltungsprozessausrüstung, wie z. B. Epitaxie, Diffusion, Plasmaätzen, Sputtern, Ionenimplantation und verschiedene CVD-Geräte; andere Industrieanlagen, wie z. B. Glasfaserschmelzen, Mikroreaktionsvorrichtungen, Gasmisch- und Gasverteilungssysteme, Gasprobenahmevorrichtungen, Kapillarmessgeräte, Gaschromatographen und andere Analysegeräte.

Gas-Massenstromregler

Stromversorgung: 15 - 24V DC (einpolig)

Messbereich: 1 - 100, 2 - 20 3~300SCCM/min

0,03 - 3, 0,05 - 5, 0,1 - 10, 0,2 - 20,

0,3 - 30, 0,5 - 50 SLM/min

Wiederholgenauigkeit: ±0,2 % des Vollausschlags

Reaktionszeit: 1 Sekunde

Betriebsumgebung: 5 - 45℃

Größe: 112,8 * 38 * 115 mm

Spezifikationen: