YJJ MF5006-N2M-E-0.5-50-15-AB-D-A MEMS Thermischer Gasmassenflussmesser 0,5-50 SLPM 1,5 MPa

Produktbeschreibung:

YJJ MF5006-N2M-E-0.5-50-15-AB-DA MEMS Thermal Gas Massendurchflussmesser 0,5 - 50 SLPM 1,5 MPa

Merkmale:

I. Modellzerlegung (detaillierte Bedeutung jeder Position)

MF5006-N2M-E-0,5-50-15-AB-DA

MF5006: Serie, DN6 (Innendurchmesser 6 mm, 1/4 Zoll Schnittstelle)

N2: Standardgas = Stickstoff (N₂)

M: MEMS-Thermal-Massenfluss-Prinzip

E: Gehäuse aus Aluminiumlegierung

0,5: Mindestbereich 0,5 SLPM (Standardliter pro Minute bei 20 °C / 1 atm)

50: Maximale Reichweite 50 SLPM

15: Maximaler Arbeitsdruck 1,5 MPa

AB: Ausgang = 4-20mA + RS485 (Modbus-RTU)

D: Mit LCD-Display (momentaner + kumulativer Durchfluss)

A: Standardkonfiguration (keine spezielle Anpassung)

II. Kernparameter (MF5006-N2M-E-0.5-50-15-AB-DA)

1. Messleistung

Gemessenes Medium: N₂, Luft, O₂, Ar, CO₂ usw. Trocken, sauber, ölfrei, kein kondensierendes Gas

Bohrung/Schnittstelle: DN6, 1/4" Innengewinde (G1/4 oder NPT1/4)

Bereich (N₂, 20°C/1 atm): 0,5–50 SLPM (Standardliter/Minute)

Genauigkeit: ±(1,5 % Messwert + 0,2 % FS)

Wiederholgenauigkeit: ≤±0,5 %FS

Bereichsverhältnis: 100:1 (großer Bereich, geringe Durchflussempfindlichkeit)

Reaktionszeit: ≤100 ms (schnelle Verfolgung von Flussänderungen)

Startdurchfluss: Niedrig bis 8 mm/s (extrem kleiner Durchfluss messbar)

2. Elektrik und Leistung

Stromversorgung: 12–24 VDC ±10 %, Stromverbrauch < 2 W

Analogausgang: 4–20 mA (entspricht 0–50 SLPM)

Kommunikation: RS485 (Modbus-RTU), netzwerkfähige Fernüberwachung

Anzeige: LCD-Bildschirm, zeigt den momentanen Durchfluss (SLPM) + den kumulativen Durchfluss an

3. Mechanik und Umwelt

Gehäusematerial: Aluminiumlegierung (E-Typ), leicht, korrosionsbeständig

Kontaktmaterial: Edelstahl 316L

Arbeitsdruck: ≤1,5 ​​MPa (15bar)

Arbeitstemperatur: -20 °C bis +60 °C

Luftfeuchtigkeit: 0–95 % relative Luftfeuchtigkeit (keine Kondensation)

Schutzart: IP40 (staubdicht, Innenbereich/allgemeine Industrieumgebung)

Installation: Horizontale/vertikale Installation nach Belieben, kein gerades Rohrsegment erforderlich (Vorteil von MEMS Thermal)

4. Hauptmerkmale

MEMS Thermal: Direkte Messung des Massendurchflusses, keine Temperatur-/Druckkompensation, Genauigkeit, Temperatur-/Druckschwankungen beeinflussen

Extrem niedriger Differenzdruck: Minimaler Druckverlust, geeignet für Niederdruck-/Kleindurchflusssysteme

Hohe Stabilität: Nullpunktdrift klein, langfristig wartungsfrei

III. Hauptanwendungen (Präzise Messung von Gasen mit kleinem Durchmesser und geringem Durchfluss)

1. Halbleiter / Elektronik (Kernszenario)

Überwachung von hochreinem Stickstoff (N₂), Sauerstoff (O₂), Argon (Ar), Prozessgasverhältnis und Durchfluss

Präzise Steuerung kleiner Gasströme in Waferverarbeitungs-, Diffusions-, Ätz- und Abscheidungsgeräten

2. Medizin/Pharma

Überwachung des Sauerstoff-/Stickstoffzufuhrflusses im Krankenhaus (Beatmungsgeräte, Anästhesiegeräte)

Pharmazeutisches Sterilgas, Schutzgas (N₂/Ar) Präzise Messung

3. Labor / Forschung

Kleines Flussverhältnis, Mischen, Reaktionsgasüberwachung von Versuchsgasen (N₂/O₂/Ar/CO₂)

Gasmessung bei geringem Durchfluss für Katalyse, Verbrennung, Umweltprobenahme usw.

4. Industrielle Automatisierung

Stabile Regelung kleiner Durchflussmengen von Schweißschutzgas (Ar/CO₂)

Durchflussüberwachung von Präzisionsverarbeitungs-, Inspektions-Ausblas-/Schutzgasen

Kleiner Zweig der Druckluft-/Geräte-Endenergieverbrauchsmessung

5. Umwelt / Neue Energie

Überwachung von Abgasen mit geringer Konzentration und kleinen Abgasströmen

Messung von Wasserstoffgas niedriger Konzentration für Wasserstoff-Brennstoffzellen

Spezifikationen: