YJJ AS200A008C100CJCC Gasmassenflussregler MFC - Hochpräzisionsgasflussmesser

Produktbeschreibung:

YJJ AS200A008C100CJCC Gas-Massendurchflussregler MFC - Hochpräzises Gasflussmessgerät

Merkmale:

AS200-Serie Gas-Massendurchflussregler

Bietet leistungsstarke, kostenlose Client-basierte Oberflächensoftware

Der Gas-Massendurchflussregler der AS200-Serie eignet sich für verschiedene konventionelle Gase und verbessert die Genauigkeit und Zuverlässigkeit der Messergebnisse der Gas-Massendurchflussregelung. Die Wiederholgenauigkeit beträgt bis zu 0,2 % F.S.;

Die geringe Leckrate von 1x10-0 Pa·m3/Sek. He, gute Luftdichtheit, gewährleistet die Sicherheit der Produktion; Es kann mehrere Signalausgänge unterstützen, einschließlich digitaler Signale, 1-5V Analogsignale und 4-20mA Analogsignale, die eine einzige Stromversorgung (+15~+28VDC) verwenden können, geeignet für verschiedene Arbeitsszenarien; Das standardmäßige offene Kommunikationsprotokoll bietet Kunden Komfort für die unabhängige Entwicklung von Steuerungs- und Erfassungssoftware; Gleichzeitig bietet das Produkt auch eine leistungsstarke, kostenlose Client-basierte Oberflächensoftware, die die Benutzer-Fehlersuche und den Betrieb erleichtert.

Die Produkte der AS200-Serie werden von Aosong Electronics unter Verwendung fortschrittlicher MEMS-Technologie entwickelt. In vielen Aspekten wie Sensoransteuerung, Nullpunkt-Driftkontrolle und Ventilsteuerung wurden Kerntechnologien übernommen, um die hohe Leistung, hohe Qualität und hohe Zuverlässigkeit der Produkte zu gewährleisten. Es ist ein hochwertiges Instrument mit guter Stabilität, hoher Präzision, geringer Leckrate und hoher Druckbeständigkeit.

Der Gas-Massendurchflussregler (MFC) der AS200-Serie wird hauptsächlich für die präzise Steuerung und Messung des Gas-Massendurchflusses verwendet. AS200 spielt eine wichtige Rolle in Forschung und Produktion in verschiedenen Bereichen wie Halbleiter-Integrierter-Schaltung-Technologie, Spezialmaterialien, chemische Industrie, Erdölindustrie, Medizin, Umweltschutz und Vakuum. Seine typischen Anwendungsszenarien umfassen: integrierte Schaltungsprozessausrüstung, wie Epitaxie, Diffusion, Plasmaätzen, Sputtern, Ionenimplantation und verschiedene CVD-Geräte; andere Industrieanlagen, wie Glasfaser-Schmelzen, Mikroreaktionsgeräte, Gasgemisch- und Gasverteilungssysteme, Gasprobennahmegeräte, Kapillarmessinstrumente, Gaschromatographen und andere Analysegeräte.

Gas-Massendurchflussregler

Stromversorgung: 15 - 24V DC (einpolig)

Messbereich: 1 - 100, 2 - 20 3~300SCCM/min

0,03 - 3, 0,05 - 5, 0,1 - 10, 0,2 - 20,

0,3 - 30, 0,5 - 50 SLM/min

Wiederholgenauigkeit: ±0,2 % des Vollausschlags

Reaktionszeit: 1 Sekunde

Betriebsumgebung: 5 - 45℃

Größe: 112,8 * 38 * 115 mm

Spezifikationen: