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Produktdetails:
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| Komplett: | 100 SCCM | Stromversorgung: | +15 bis +28 VDC (Einzelversorgung) |
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| Signal: | 0–5V analog; unterstützt digitale RS485-Kommunikation | Genauigkeit: | ±1 % FS; Wiederholgenauigkeit: ±0,2 % FS |
| Hervorheben: | Gas Mass Flow Controller für die Halbleiterfertigung,Medizinischer Luftdurchflusssensor mit Garantie,AS200A008C100CJCC Flow Controller |
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AS200A008C100CJCC Gassmassenflussregler für die Halbleiterherstellung
Typische Anwendungen
Halbleiterverarbeitung, CVD, Gasverteilsysteme, Laborgassteuerung, Analyseinstrumente usw.
Spezifikation:
| Leckrate | 1 × 10−10 Pa·m3/s (He) |
| Druckwiderstand | 3 MPa |
| AS200-Produktreihe | MEMS-Gasmassenflussregler |
| A (Dichtungsart) | A = Gummidichtung; Signal: analoge Eingangs-/Ausgangsleistung von 0-5 V |
| 008 (Gascode) | 008 entspricht dem angegebenen Gas |
| C (Bereichseinheit) | C = SCCM (Standardkubenzentimeter pro Minute) |
| 100 (ganz) | 100 SCCM |
| CJCC | Suffix für Schnittstelle, Ventilart, elektrische Kombination und Einbaukombination |
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Ansprechpartner: Xu
Telefon: 86+13352990255