Reichweite:0 -100 l/min
Gemessenes Gas:Luft, Stickstoff, Sauerstoff, Argon, CO2
Genauigkeit:±2 % v. M
Reichweite:0 - 50 l/min
Genauigkeit:± (1,5 + 0,2 × fs) % 2
Ausgabemodus:RS232 / Analogspannung
Präzision:0,2 + 3 %
Modell:Newport E360
Produktmerkmale:Geringe Druckdifferenz
Durchflussbereich:0 bis 180 l/min (kurzfristige 260 l/min)
Toter Raum:<11 ml (funktional)
Widerstand:<0,027 cmH2O/(l/min) über den gesamten Durchflussbereich (-180 l/min bis 180 l/min)
Portgröße:5,08 mm
Schalenmaterial:Silizium
Maximale Betriebstemperatur:+ 85 ° C.
Fließen:0 bis 30 l/min
Toter Raum:1,3 ml (funktional)
Widerstand:<0,17 cmH2O/(l/min) über
Durchflussbereich:0 bis 180 l/min (kurzfristige 260 l/min)
Toter Raum:<11 ml (funktional)
Widerstand:<0,027 cmh2o/(l/min)
Modellnummer:FS4003-5-R-BV-A
Verwendung:Modul
Zustand:Original 100%
Typ:Massenluftströmungssensor
Verwendet für:Trockengas
Reichweite:0 SLPM bis 10 SLPM
Messbereich:30 ~ 300 l/min
Wiederholbarkeit:≤ ± 0,5% fs
Antwortzeit (T90):≤ 3 s
Messbereich:0 - 200 L/min
Wiederholbarkeit:0,5%fs
Betriebstemperatur:- 10 ~ + 60℃
Genauigkeit:±2,5 % Messwert + 0,5 % Skalenendwert (FS)
Wiederholbarkeit:± 0,2% fs
Antwortzeit (T90):< 1 S