Flow Range:0–15 SLPM
Accuracy:±(1.5% of reading + 0.5% of full scale)
Repeatability:±0.5% of full scale
Flow Range:0 - 2000 sccm
Accuracy:±(2.0 + 0.5FS)%
Range Ratio:100:1
Measurement Range:0–2 SLPM (Standard Liter per Minute)
Accuracy:±(1.5% + 0.2% F.S.)
Repeatability:±0.25%
Measurement Range:0–50 SLPM
Accuracy:±(2.0% + 0.5% F.S.)
Repeatability:±0.75%
Measurement Range:0–500 SLPM
Accuracy:±1.5% of Full Scale (F.S.)
Repeatability:±0.75%
Measurement Range:0 - 800 SLPM
Accuracy Grade:1.5% F.S
Nominal Diameter:19mm
Leistung:11.4~25.2V
Reichweite:0.5~10,1.8~32,5~85,9~150 L/min
Genauigkeit Voller Bereich:x±1%(<50% Bereich)
Durchflussbereich:0 ~ 2000... 6000
Genauigkeit:±(2,0+0,5FS)%
Rücklaufquote:> 100:1
Zur Verwendung mit:Trockengas
Reichweite:+/- 200 cm/min
Genauigkeit:0.35 %
Monitoring scope:500sccm
Accuracy:0.5%
Output voltage:4.5V
Nullpunktausgangsdrift:+30 mV
Ausgangsverschiebung:+0,12 %/oC
Betriebsstromversorgung:8-18 VDC, 100 mA
Pfad (N):2.3. 4. 5
Durchflussrate:10, 20, 30, 40, 50 SLPM
Reichweitenverhältnis:100:1